真空泵是在許多工業(yè)領域中廣泛使用的重要設備。它們通常用于從封閉容器中移除氣體或液體以維持真空狀態(tài),這樣可以保證制造加工過程的干凈和穩(wěn)定,被廣泛應用于電子、半導體、化學和制藥等多個領域。
如在半導體工廠中,許多步驟都需要在真空環(huán)境下進行,例如沉積、刻蝕、清洗等,而真空泵是創(chuàng)造和維持這種真空環(huán)境的重要設備,因此保證真空泵良好穩(wěn)定的運行,便能確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
通常情況下,真空泵的狀態(tài)監(jiān)測是基于設備運行過程產(chǎn)生的信號信息,如振動數(shù)據(jù)、壓力數(shù)據(jù)、溫度數(shù)據(jù)等。這些數(shù)據(jù)切實反映了真空泵的工作狀態(tài),若是超出安全閾值便有可能是設備故障。因此,通過監(jiān)測這些數(shù)據(jù),我們可以了解真空泵的狀態(tài),并及時預測可能的故障原因,從而實現(xiàn)對真空泵的預測性維護。
1、數(shù)據(jù)接入:通過真空泵PLC和傳感器的數(shù)據(jù)接入到數(shù)之能設備運維管理平臺中,可以實現(xiàn)溫度、壓力、振動、真空度等數(shù)據(jù)的可視化處理。
2、故障報警:通過設置報警閾值與通知方式,在獲取到設備故障數(shù)據(jù)時就會自動報警,在平臺中生成故障記錄,并通過微信、短信、郵件、APP等進行通知。
3、數(shù)據(jù)分析:通過自定義數(shù)據(jù)報表實現(xiàn)數(shù)據(jù)智能分析,如多個設備同一參數(shù)、多個時間同一參數(shù)等,從而合理優(yōu)化設備產(chǎn)能、性能、能耗、工藝等。
4、運維管理:故障報警快速生成運維工單,工程師快速接單,記錄維護日志,方便隨時跟蹤處理進度;此外,平臺也提供遠程維護調(diào)試和遠程上下載程序等操作。
5、預測性維護:根據(jù)設備故障頻率、報警數(shù)據(jù)、運維記錄等有效評估設備運行性能與故障風險,從而建立起預測性維護與備品備件管理的智能系統(tǒng)。
如在半導體工廠中,許多步驟都需要在真空環(huán)境下進行,例如沉積、刻蝕、清洗等,而真空泵是創(chuàng)造和維持這種真空環(huán)境的重要設備,因此保證真空泵良好穩(wěn)定的運行,便能確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
通常情況下,真空泵的狀態(tài)監(jiān)測是基于設備運行過程產(chǎn)生的信號信息,如振動數(shù)據(jù)、壓力數(shù)據(jù)、溫度數(shù)據(jù)等。這些數(shù)據(jù)切實反映了真空泵的工作狀態(tài),若是超出安全閾值便有可能是設備故障。因此,通過監(jiān)測這些數(shù)據(jù),我們可以了解真空泵的狀態(tài),并及時預測可能的故障原因,從而實現(xiàn)對真空泵的預測性維護。

2、故障報警:通過設置報警閾值與通知方式,在獲取到設備故障數(shù)據(jù)時就會自動報警,在平臺中生成故障記錄,并通過微信、短信、郵件、APP等進行通知。
3、數(shù)據(jù)分析:通過自定義數(shù)據(jù)報表實現(xiàn)數(shù)據(jù)智能分析,如多個設備同一參數(shù)、多個時間同一參數(shù)等,從而合理優(yōu)化設備產(chǎn)能、性能、能耗、工藝等。
4、運維管理:故障報警快速生成運維工單,工程師快速接單,記錄維護日志,方便隨時跟蹤處理進度;此外,平臺也提供遠程維護調(diào)試和遠程上下載程序等操作。
5、預測性維護:根據(jù)設備故障頻率、報警數(shù)據(jù)、運維記錄等有效評估設備運行性能與故障風險,從而建立起預測性維護與備品備件管理的智能系統(tǒng)。
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